方案概述
管式PECVD上下料机是将硅片从承载盒中自动装载至PECVD石墨舟或从PECVD石墨舟中自动装载硅片至硅片承载盒中
金沙集团1991cc入口方案
-
-
碎片率降低
重复精度定位精准，与传统装卸片相比，大幅度降低碎片率
-
-
-
高重合精度
高速以太网 高响应定位，动作过程中与硅片接触搬运过程中均轻柔动作，以减少碎片
-